euv光刻机目前全球只有荷兰阿斯麦尔一家可以制造，严格来说是组装，因为其主要零部件来自众多不同国家。所以，凭一国之力短期内要突破所有euv光刻机技术不太现实。
比较现实的是面向中低端光刻机的研发和中低端芯片的市场占有率。
而且在新材料新技术方面寻求替代技术也很重要，比如碳基芯片、光子芯片、量子芯片等
