先关闭储液器上的出液阀后开机，待低压压力稳定在0稍微以下一点时，关闭压缩机的排气阀，在即将关闭终了时停止压缩机运转。最后再关闭储液器上的进液阀，收氟完毕。
利用自身压缩机抽真空：
先打开压缩机排气阀上通大气的旁通阀（或者旁通口）后启动压缩机运转，再分别打开压缩机的吸气阀、节流阀（膨胀阀）前后的关闭阀及低压侧所有通向压缩机的各个阀门，待低压表完全稳定在最低真空度后停止压缩机运转。打开储液器上的进液阀，让储液器里的高压气体返回冷凝器至压缩机的旁通口放出数秒钟后再关闭旁通阀或者旁通口，系统除储液器外全部真空完毕（冷凝器及与压缩机的连接管路是通过排气方式排除不凝性气体的）。
注意：螺杆式和涡旋式压缩机不宜进行自身抽真空。
