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cvd镀膜是什么膜

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cvd镀膜是什么膜

CVD金刚石膜是一种利用化学气相沉积法制成的金刚石材料。作为刀具材料其硬度高于PCD。由于不含金属结合剂,所以有很高的热导率和抗高温氧化性能。但是,目前生产的CVD材料韧性比较差,它不能用线切割的方式进行切割加工,使用上受到了一定的限制。由于没有切磨的方向性,磨加工的工艺性较差,极难磨出像天然金刚石和人造单晶金刚石一样锋利的刃口。作为切削刀具使用尚处于试验阶段,有待进一步研究和开发。

CVD镀膜室指在零件的表面上形成化合物薄层的工艺。化学气相沉积设备包括氢气净化系统、蒸发源、卧式化学气相沉积炉以及排气净化装置等,整套设备比较复杂,这里以工具钢的化学气相TiC工艺为例分析该工艺的原理和特点。

cvd属于化学气相沉积技术。应用比较广泛。在金属表面镀一层化合物的保护膜,其中化合物成分可以有很多种,比如常见的镀铝 镀铬 镀镍等等。

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